Vakuumsystem und Verfahren zum Betreiben eines Solchen

EP4198712 Art A1 21. Juni 2023

Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4198712
Aktenzeichen
EP22214205
Anmeldetag
16. Dezember 2022
Veröffentlichung
21. Juni 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G06F8/00G06F8/65F04C25/02F04D19/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum Technology AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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