Detektorinspektionsvorrichtung, Detektoranordnung, Detektorarray, Einrichtung und Verfahren

EP4199032 Art A1 21. Juni 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4199032
Aktenzeichen: EP21215710
Anmeldetag: 17. Dezember 2021
Veröffentlichung: 21. Juni 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/244H04N5/32H04N5/367

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation

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