Verfahren und Systeme zur Bestimmung der Qualität von Halbleitermessungen
EP4200598
Art A1
28. Juni 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4200598
- Aktenzeichen
- EP21873172
- Anmeldetag
- 1. September 2021
- Veröffentlichung
- 28. Juni 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/956G01N21/95G01N21/88G01N21/21G01N23/18G01N23/201G01N23/207G03F7/00G01B11/02G01B15/02G01B21/04G01N21/27
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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