Probenpositionierungssystem und -Verfahren

EP4200804 Art A1 28. Juni 2023

Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4200804
Aktenzeichen
EP20956447
Anmeldetag
22. Oktober 2020
Veröffentlichung
28. Juni 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G06T7/73G06T7/00G06T7/11G06T7/30G06T7/70G06T7/33H04N23/695G01N21/95G01N21/956H01L21/68
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung

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