Magnetische Tauchelektronenkanone

EP4200889 Art A1 28. Juni 2023

Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4200889
Aktenzeichen
EP21867413
Anmeldetag
7. September 2021
Veröffentlichung
28. Juni 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01J1/22H01J37/07
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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