Detektormodul mit Leiterplatte zum Abdichten einer Vakuumkammer

EP4200890 Art A1 28. Juni 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4200890
Aktenzeichen: EP21755964
Anmeldetag: 9. August 2021
Veröffentlichung: 28. Juni 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/16H01J37/244H05K1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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