Ausrichtung einer Probe zur Inspektion und Anderer Verfahren

EP4200898 Art A1 28. Juni 2023

Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4200898
Aktenzeichen
EP21873186
Anmeldetag
9. September 2021
Veröffentlichung
28. Juni 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/93G01N21/95H01L21/68H01L21/66G03F9/00G03F7/20G03F1/84G06T7/33
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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