Vakuumspannfutter mit Hohem Durchfluss
EP4200905
Art A1
28. Juni 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4200905
- Aktenzeichen
- EP21883551
- Anmeldetag
- 11. Oktober 2021
- Veröffentlichung
- 28. Juni 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/683H01L21/687B25B11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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