Flüssigmetallzuführanordnung

EP4202447 Art A1 28. Juni 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4202447
Aktenzeichen: EP21217592
Anmeldetag: 23. Dezember 2021
Veröffentlichung: 28. Juni 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01P13/00G01F1/68G03F7/20H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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