Verfahren und Struktur zur Bestimmung eines Überlagerungsfehlers

EP4202552 Art B1 17. April 2024

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4202552
Aktenzeichen: EP21217706
Anmeldetag: 24. Dezember 2021
Veröffentlichung: 17. April 2024
Erteilung: 17. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F9/00H01L21/66H01L23/544H01L29/423

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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