Verfahren und System zur Positionierung und Übertragung einer Probe

EP4202972 Art A3 22. November 2023

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4202972
Aktenzeichen: EP23157978
Anmeldetag: 22. Februar 2023
Veröffentlichung: 22. November 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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