Verfahren und System zur Bestimmung der Strahlposition

EP4202973 Art A1 28. Juni 2023

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4202973
Aktenzeichen: EP22214931
Anmeldetag: 20. Dezember 2022
Veröffentlichung: 28. Juni 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/22H01J37/28G06T7/246

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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