Herstellung eines Vias in einer Integrierten Schaltung

EP4202986 Art B1 1. Mai 2024

Anmelder: IMEC VZW, Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4202986
Aktenzeichen: EP21216251
Anmeldetag: 21. Dezember 2021
Veröffentlichung: 1. Mai 2024
Erteilung: 1. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768H01L21/8238

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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