Massive Überlagerungsmetrologieabtastung mit mehreren Messsäulen
EP4211450
Art A1
19. Juli 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4211450
- Aktenzeichen
- EP21895325
- Anmeldetag
- 28. Oktober 2021
- Veröffentlichung
- 19. Juli 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/88G01N21/956G03F7/20G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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