Automatisiertes Optisches Messsystem zur Bestimmung von Halbleitereigenschaften

EP4211451 Art A1 19. Juli 2023

Anmelder: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4211451
Aktenzeichen: EP21867335
Anmeldetag: 13. August 2021
Veröffentlichung: 19. Juli 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/02G01N21/25G01N21/64G02B21/00G02B21/24G02B21/26H01L21/66// G01N21/95G01N21/84G02B21/08G02B21/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Firma: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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