Vakuumpumpe mit Optimierter Holweck-Pumpstufe zur Kompensation Temperaturbedingter Leistungseinbussen

EP4212730 Art A1 19. Juli 2023

Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4212730
Aktenzeichen
EP23175631
Anmeldetag
26. Mai 2023
Veröffentlichung
19. Juli 2023
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D29/54F04D29/64
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum Technology AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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