Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen einer Halbleiterstruktur

EP4213191 Art A3 30. August 2023

Anmelder: Forschungsverbund Berlin E.V., IHP GmbH - Innovations for High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4213191
Aktenzeichen: EP23151074
Anmeldetag: 11. Januar 2023
Veröffentlichung: 30. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/683// H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Forschungsverbund Berlin E.V.
IHP GmbH - Innovations for High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 IHP – Innovations for High Performance Microelectronics

Deutsches Forschungsinstitut (Leibniz-Institut) mit Sitz in Frankfurt (Oder), das an Hochleistungs-Mikroelektronik forscht, darunter Silizium-Germanium-Technologien und Halbleiterschaltungen für Kommunikations- und Sensoranwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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