Plasmabeständiger Beschichtungsfilm, Sol-Gel-Flüssigkeit zur Bildung des Films, Verfahren zur Bildung des Plasmabeständigen Beschichtungsfilms und Substrat mit Plasmabeständigem Beschichtungsfilm

EP4213597 Art A1 19. Juli 2023

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4213597
Aktenzeichen: EP21866796
Anmeldetag: 8. September 2021
Veröffentlichung: 19. Juli 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H05H1/24C04B41/87H01L21/3065C23C18/12C04B41/00C04B41/50H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Materials Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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