Hochspannungsdurchführung und Verbinder für eine Vorrichtung mit Geladenen Teilchen

EP4214738 Art A2 26. Juli 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4214738
Aktenzeichen: EP21763090
Anmeldetag: 19. August 2021
Veröffentlichung: 26. Juli 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/248H01R13/53

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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