Verfahren zur Steuerung eines Produktionssystems und Verfahren zur Thermischen Steuerung wenigstens eines Teils einer Umgebung

EP4216106 Art A1 26. Juli 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4216106
Aktenzeichen: EP22152151
Anmeldetag: 19. Januar 2022
Veröffentlichung: 26. Juli 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G06N3/04G06N3/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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