Scrollpumpe mit Optimierter Spiralgeometrie

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4219947

Aktenzeichen

EP23179568

Anmeldetag

15. Juni 2023

Veröffentlichung

26. März 2025

Erteilung

26. März 2025

Rechtsraum

EP

IPC

F04C18/02F04C25/02F04C27/00F04C29/00

Abstract

Scrollpumpe mit einem feststehenden Spiralzylinder in Form einer ersten Wand (16) mit einer ersten Wandhöhe (H), wobei sich die erste Wand (16) von einem inneren Ende (58) zu einem äußeren Ende (60) spiralförmig aufweitet, und einem beweglichen Spiralzylinder in Form einer zweiten Wand (18) mit einer zweiten Wandhöhe (H), die sich von einem inneren Ende (58) zu einem äußeren Ende (60) spiralförmig aufweitet und mit der sich spiralförmig aufweitenden ersten Wand (16) verschachtelt ist. Erfindungsgemäß ändert sich die erste Wandhöhe (H) und/oder die zweite Wandhöhe (H) zwischen ihrem inneren Ende (58) und ihrem äußeren Ende (60).

Anmelder

Firma

Pfeiffer Vacuum Technology AG

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete