Inspektionsvorrichtung und -Verfahren

EP4222560 Art A1 9. August 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4222560
Aktenzeichen: EP21782472
Anmeldetag: 20. September 2021
Veröffentlichung: 9. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00H01J37/28H01J37/147H01J37/20H01J37/21H01J37/22H01J37/29H01J37/304H01J37/317G01B11/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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