Auf Tiefenlernen Basierende Fehlererkennung
EP4222695
Art A1
9. August 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4222695
- Aktenzeichen
- EP21854177
- Anmeldetag
- 27. Juli 2021
- Veröffentlichung
- 9. August 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06N3/0455G06N3/045G06N3/047G06N3/088G06T7/00G06V10/82G06N3/0464G06N3/09
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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