Organoaminofunktionalisierte Cyclische Oligosiloxane zur Abscheidung von Siliciumhaltigen Filmen

EP4223903 Art A1 9. August 2023

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4223903
Aktenzeichen: EP23156751
Anmeldetag: 11. April 2019
Veröffentlichung: 9. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/30C23C16/40C23C16/455C07F7/21C08G77/12C08K5/17C09D183/08C08G77/24C08G77/26C08G77/388

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Kunststoff- & Polymertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von