Gaszuführer, Verarbeitungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP4223904 Art A1 9. August 2023

Anmelder: Kokusai Electric Corp. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4223904
Aktenzeichen: EP23152854
Anmeldetag: 23. Januar 2023
Veröffentlichung: 9. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kokusai Electric Corp.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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