Modensteuerung von auf Photonischer Kristallfaser Basierenden Breitbandlichtquellen

EP4224250 Art A3 6. September 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4224250
Aktenzeichen: EP23166047
Anmeldetag: 20. August 2020
Veröffentlichung: 6. September 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G02F1/365G02B6/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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