Ladungsteilchenstrahlsystem, Verfahren zum Betrieb eines Ladungsteilchenstrahlsystems, Verfahren zur Aufzeichnung mehrerer Bilder und Computerprogramme zur Ausführung der Verfahren

EP4224511 Art A3 6. September 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4224511
Aktenzeichen: EP22206036
Anmeldetag: 8. November 2022
Veröffentlichung: 6. September 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/26H01J37/147// H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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