Superkontinuumstrahlungsquelle und Zugehörige Metrologievorrichtungen

EP4231090 Art A1 23. August 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4231090
Aktenzeichen: EP22157166
Anmeldetag: 17. Februar 2022
Veröffentlichung: 23. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G02F1/35H01S3/00H01S3/23G02B6/02H01S3/06// H01S5/42G03F7/20G01B11/00G02F1/365H01S3/0941

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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