Verfahren zur Einstellung der Substratverarbeitungsbedingung, Substratverarbeitungsverfahren, System zur Einstellung der Substratverarbeitungsbedingung und Substratverarbeitungssystem

EP4231107 Art A1 23. August 2023

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4231107
Aktenzeichen: EP23155377
Anmeldetag: 7. Februar 2023
Veröffentlichung: 23. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G05B19/418G05B13/02H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

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