Ätzgas, Ätzverfahren und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterelements

EP4231332 Art A1 23. August 2023

Anmelder: Resonac Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4231332
Aktenzeichen: EP21880007
Anmeldetag: 8. Oktober 2021
Veröffentlichung: 23. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C09K13/00H01L21/3065H01L21/3213H01L21/311

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Resonac Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Resonac

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, hervorgegangen aus Showa Denko. Das Unternehmen stellt unter anderem Halbleitermaterialien, Elektronikchemikalien und funktionale Chemieprodukte her.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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