Elektrostatische Einspannvorrichtung mit Kalter Kante und Niedriger Temperatur

EP4233096 Art A1 30. August 2023

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4233096
Aktenzeichen: EP21883488
Anmeldetag: 9. September 2021
Veröffentlichung: 30. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/683H01L21/67H01J37/32H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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