Verfahren in dem Herstellungsverfahren einer Vorrichtung, Computerlesbares Medium und zur Durchführung des Verfahrens Konfiguriertes System

EP4235305 Art A1 30. August 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4235305
Aktenzeichen: EP23171216
Anmeldetag: 22. August 2018
Veröffentlichung: 30. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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