Teilstrukturschätzvorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Teilstrukturschätzmodells

EP4235681 Art A1 30. August 2023

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4235681
Aktenzeichen
EP23156565
Anmeldetag
14. Februar 2023
Veröffentlichung
30. August 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G16C20/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Jeol Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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