Systeme und Verfahren zur Pulsbreitenmodulierten Dosissteuerung

EP4235743 Art B1 12. März 2025

Anmelder: Lam Research Corporation, LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4235743
Aktenzeichen: EP23173746
Anmeldetag: 21. September 2018
Veröffentlichung: 12. März 2025
Erteilung: 12. März 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67C23C16/455H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Lam Research Corporation
LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von