Integrierte Trockenverfahren zur Strukturierung von Fotolackmustern mittels Strahlung

EP4235757 Art A3 27. Dezember 2023

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4235757
Aktenzeichen: EP23173688
Anmeldetag: 2. Juli 2021
Veröffentlichung: 27. Dezember 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67G03F7/16// G03F7/36G03F7/004G03F7/11G03F7/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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