Ausrüstung und Prozesstechnologien für Katalysatorbeeinflusstes Chemisches Ätzen

EP4238122 Art A1 6. September 2023

Anmelder: Board of Regents, The University of Texas System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4238122
Aktenzeichen: EP21887681
Anmeldetag: 29. Oktober 2021
Veröffentlichung: 6. September 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306H01L21/3065H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Board of Regents, The University of Texas System
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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