Werkzeuge für Substratverarbeitungssystem zur Überwachung, Beurteilung und Reaktion auf der Basis von Gesundheit mit Sensorabbildung und Ausgelöster Datenerfassung

EP4244638 Art A1 20. September 2023

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4244638
Aktenzeichen: EP21893054
Anmeldetag: 3. November 2021
Veröffentlichung: 20. September 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G05B23/02G01R31/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von