Endpunktbestimmung mittels Kontrastgas

EP4244674 Art A1 20. September 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4244674
Aktenzeichen: EP21839362
Anmeldetag: 10. Dezember 2021
Veröffentlichung: 20. September 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/74H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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