Beleuchtungsanordnung für eine Metrologievorrichtung und Zugehöriges Verfahren

EP4246232 Art A1 20. September 2023

Anmelder: Stichting VU, Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten, Universiteit van Amsterdam, ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4246232
Aktenzeichen: EP22163108
Anmeldetag: 18. März 2022
Veröffentlichung: 20. September 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00G02B5/18G02B27/00G03H1/04G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Stichting VU
Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten
Universiteit van Amsterdam
ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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