Ladungsteilchenstrahlvorrichtung und Steuerungsverfahren für Ladungsteilchenstrahlvorrichtung

EP4246551 Art A1 20. September 2023

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4246551
Aktenzeichen: EP23161216
Anmeldetag: 10. März 2023
Veröffentlichung: 20. September 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/04H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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