Verfahren und System zur Erzeugung eines Hochauflösenden Musters auf einem Substrat

EP4248502 Art A1 27. September 2023

Anmelder: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy, Teknologian Tutkimuskeskus VTT OY 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4248502
Aktenzeichen: EP21816118
Anmeldetag: 17. November 2021
Veröffentlichung: 27. September 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L51/00H05K3/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Teknologian Tutkimuskeskus VTT OY
Land: 🇫🇮 Finnland

🇫🇮 VTT Technical Research Centre of Finland

VTT ist eine staatliche finnische Forschungseinrichtung mit Sitz in Espoo, die angewandte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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