Vorrichtung mit Verwendung mehrerer Geladener Teilchenstrahlen

EP4250334 Art A3 6. Dezember 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4250334
Aktenzeichen: EP23184135
Anmeldetag: 22. Dezember 2017
Veröffentlichung: 6. Dezember 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/141H01J37/145

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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