Gerät zur Nichtinvasiven Erfassung von in einer Plasmabehandlungskammer Fliessenden Hochfrequenzstromspektren

EP4250335 Art A1 27. September 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc., Impedans Ltd 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4250335
Aktenzeichen: EP22164269
Anmeldetag: 25. März 2022
Veröffentlichung: 27. September 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32G01R29/08H05H1/00G01R23/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
Impedans Ltd
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von