Verfahren zum Reinigen von Halbleiterscheiben in einer Reinigungsstrasse
EP4250341
Art A1
27. September 2023
Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4250341
- Aktenzeichen
- EP22164084
- Anmeldetag
- 24. März 2022
- Veröffentlichung
- 27. September 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01L21/677
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Siltronic AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Siltronic
Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.
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