Positionierungssystem, Lithographische Vorrichtung, Absolutpositionsbestimmungsverfahren und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP4251947 Art B1 29. Januar 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4251947
Aktenzeichen: EP21799031
Anmeldetag: 25. Oktober 2021
Veröffentlichung: 29. Januar 2025
Erteilung: 29. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02001

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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