Überlagerungsmessung mittels Abtaststreumessung
EP4251978
Art A1
4. Oktober 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4251978
- Aktenzeichen
- EP21916291
- Anmeldetag
- 24. Dezember 2021
- Veröffentlichung
- 4. Oktober 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/88G01N21/95G01N21/956G03F7/20G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank