Mehrstrahliger Elektronischer Scanner

EP4251982 Art A1 4. Oktober 2023

Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4251982
Aktenzeichen
EP21911949
Anmeldetag
19. Dezember 2021
Veröffentlichung
4. Oktober 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G01N23/2251H01J37/28H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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