Metrologievorrichtung auf Basis von Erzeugung Hoher Oberschwingungen und Zugehöriges Verfahren

EP4252071 Art A1 4. Oktober 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4252071
Aktenzeichen: EP21801534
Anmeldetag: 28. Oktober 2021
Veröffentlichung: 4. Oktober 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02F1/35H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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