Hochpräzises Temperaturkompensiertes Piezoresistives Positionsmesssystem

EP4252074 Art A1 4. Oktober 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4252074
Aktenzeichen: EP21807070
Anmeldetag: 8. November 2021
Veröffentlichung: 4. Oktober 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20B81B7/00G02B26/08H01L41/09

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von