Ionenquellenanordnung mit mehreren Ionisationsvolumen zur Verwendung in einem Massenspektrometer

EP4252270 Art A1 4. Oktober 2023

Anmelder: Inficon, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4252270
Aktenzeichen: EP21899023
Anmeldetag: 23. November 2021
Veröffentlichung: 4. Oktober 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J49/04H01J49/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Inficon, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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